Ультра прецизионная система для контроля оптических деталей сложной и прецизионной формы, асферических линз большого диаметра и деталей лазерных установок.
Идеальное сочетание сверхвысокой точности с универсальностью измерений и полной автоматизацией.
При наличии возможности измерять практические вертикальные уклоны при отсутствии ограничений в отклонении асферических линз, прибор PGI 3D Optics обладает гибкостью, необходимой для измерения огромного количества оптических компонентов, применяемых в различных отраслях промышленности. Наличие нового (полностью автоматического) пользовательского интерфейса и трехмерной индикации результатов. Система обеспечивает выполнение комплексной оценки погрешности формы детали и неравномерности кривизны поверхности для большинства литых, шлифованных деталей или деталей после алмазной обработки.
Производсво оптических деталей, являются одним из самых востребованных направлений, в котором используются программы измерения формы со сверхвысокой точностью. Новая система измерения формы оптических компонентов - FormTalysurf PGI 3D Optics отвечает самым жестким метрологическим требованиям к новым и уже существующим видам линз, предлагая широкий спектр областей применения
Особенности и преимущества
Таблица системы с датчиком на базе фазового шкального интерферометра Form Talysurf
Диапазон датчика | Разрешение датчика | Горизонт. перемещение | Горизонт. прямолинейность | Колонна | Шум | Изоляционная кабина |
8 мм | 3,2 нм | 200 мм | 0,35 мкм на 200 мм | 450 мм | 3 нм | Опция |
ОСЬ Х | Мотопривод 120 мм | Мотопривод 200 мм |
Длина трассы max/min | 120 мм/0.1 мм | 200 мм/0.1 мм |
Скорость транспортная/ измерения | 10 мм/с – 0.1 мм/с | |
Шаг дискретизации | 0.125 мкм | |
Непрямолинейность направляющей(Pt)мкм | 0.35 мкм | 0.75 мкм |
ОСЬ Z | Мотопривод 120 мм | Мотопривод 200 мм |
Номинальный диапазон | 4, 8,12 мм (со щупом 60 мм) | |
Разрешающая способность | 0,2; 0,8; 3,2; 12,5 нм | |
Длина щупа, радиус, измерительное усилие | 60 мм, 2 мкм радиус, 1 мН | |
120 мм, 0.5 мм радиус, 20 мН | ||
Общие характеристики | Мотопривод 120 мм | Мотопривод 200 мм |
Сфера для калибровки (неопределенность радиуса) | 22 мм (номинал), сфера (0.4 мкм) | |
80 мм (номинал), сфера (0.8 мкм) | ||
Неопределенность калибровки -Pt | 0.15 мкм (со щупом 60 мм) | |
0.3 мкм (со щупом 120 мм) | ||
Собственный шум Rq | 2;3;5 нм | |
Неопределенность измерения параметров шероховатости | 2% + 4 нм (только для высотных) | |
Неопределенность измерения радиусов % (стандартный датчик) | для радиусов 0,1 – 12 мм 0,02+(12-R)x1,65x10-1 | |
для радиусов 12 – 22 мм 0,02 | ||
для радиусов 22 – 10000 мм 0,02+(R-22)x9,25x10-5 | ||
Неопределенность измерения углов | 0.5 мин. (диапазон ±35 град) |